在半導體產業供應鏈中，光刻膠是關鍵的核心材料之一，其品質直接關系到芯片制造的精度與合格率。光刻膠生產對環境極為苛刻，溫濕度的微小波動都會直接影響產品性能。上海艾深斯在建設研發與中試生產線時，面臨核心挑戰：如何在上海復雜氣候條件下，實現極端穩定、精準的溫濕度控制，并兼顧節能與人員舒適。

維克定制化解決方案

維克提供的定制化解決方案，以高可靠性為核心，確保了生產環境的精密控制與穩定運行。

高可靠溫濕度控制基礎

方案采用高效風冷熱泵模塊機組

作為核心冷熱源

機組采用國際知名品牌核心部件

具有寬工況運行能力

能確保全年冷熱源的穩定輸出

為系統奠定堅實基礎

高效應對過渡季節

實現精準恒溫恒濕

方案的亮點在于配置了

“四管制”風冷熱泵機組

其核心價值在于大幅提升系統在

春季、秋季等過渡季節的利用率與能效

該系統能夠根據復雜的環境負荷變化

靈活、同步地提供制冷或制熱

精確抵消外部溫濕度波動

從而以更高的能效和響應速度

確保生產空間持續滿足嚴苛的恒溫恒濕要求

深度除濕與節能兼顧

為滿足持續的低濕工藝需求

方案采用變頻直膨式深度除濕機組

該技術可根據室外氣象條件自動調節

在保證人員舒適新風的前提下

高效、精準地將室內濕度控制在工藝設定

低位運行能效顯著高于傳統方案

該方案已穩定運行

成功為艾深斯光刻膠研發與生產

提供了高精度、超穩定的溫濕度環境

有力保障了產品質量與研發效率

同時，系統通過設備高效選型與變頻調節

實現了精密控制與節能運行的平衡

未來，維克將繼續以專業的環境控制解決方案

助力更多高端制造企業攻克關鍵工藝難關

實現高質量發展